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高純氧化鋁半導(dǎo)體陶瓷有什么特性?

2024-06-13(916)次瀏覽

近幾年,隨著國(guó)家政策的調(diào)整,半導(dǎo)體行業(yè)迅速發(fā)展,產(chǎn)業(yè)規(guī)模急速增大,半導(dǎo)體制造設(shè)備持續(xù)向精密化、復(fù)雜化演變。由于陶瓷具有高硬度、高彈性模量、高耐磨、高絕緣、耐腐蝕、低膨脹等優(yōu)點(diǎn),可用作硅片拋光機(jī)、外延/氧化/擴(kuò)散等熱處理設(shè)備、光刻機(jī)、沉積設(shè)備,半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備,離子注入機(jī)等設(shè)備的零部件,因此高純氧化鋁半導(dǎo)體陶瓷的研發(fā)生產(chǎn)直接影響半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展,其制備技術(shù)要求也越來(lái)越高。那么高純氧化鋁半導(dǎo)體陶瓷都有什么特性呢?

  近幾年,隨著國(guó)家政策的調(diào)整,半導(dǎo)體行業(yè)迅速發(fā)展,產(chǎn)業(yè)規(guī)模急速增大,半導(dǎo)體制造設(shè)備持續(xù)向精密化、復(fù)雜化演變。由于陶瓷具有高硬度、高彈性模量、高耐磨、高絕緣、耐腐蝕、低膨脹等優(yōu)點(diǎn),可用作硅片拋光機(jī)、外延/氧化/擴(kuò)散等熱處理設(shè)備、光刻機(jī)、沉積設(shè)備,半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備,離子注入機(jī)等設(shè)備的零部件,因此高純氧化鋁半導(dǎo)體陶瓷的研發(fā)生產(chǎn)直接影響半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展,其制備技術(shù)要求也越來(lái)越高。那么高純氧化鋁半導(dǎo)體陶瓷都有什么特性呢?下面就跟隨康柏工業(yè)小編一起來(lái)看看吧!


高純氧化鋁半導(dǎo)體陶瓷有什么特性?


  高純氧化鋁半導(dǎo)體陶瓷的特性如下:


  1.高純度:高純氧化鋁陶瓷由純凈的氧化鋁原料制成,其中雜質(zhì)含量低,一般在0.1%以下。這種高純度保證了材料的優(yōu)良性能和可靠性。


  2.高溫穩(wěn)定性:高純氧化鋁陶瓷具有出色的高溫穩(wěn)定性,能夠在高溫環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行。其熔點(diǎn)高達(dá)2054℃,因此可以在高溫工藝中廣泛應(yīng)用。


  3.良好的絕緣性:高純氧化鋁陶瓷是一種優(yōu)秀的絕緣材料,具有低導(dǎo)熱性和良好的絕緣性能。它可以在高電壓和高頻率條件下保持穩(wěn)定的絕緣性能,因此在電子、通信和電力行業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。


  4.超硬性:高純氧化鋁陶瓷具有極高的硬度和強(qiáng)度,可以抵抗較大的壓力和沖擊。它的硬度接近于莫氏硬度9,僅次于硬度最高的天然礦物金剛石。


  5.耐腐蝕性:高純氧化鋁陶瓷對(duì)酸、堿和其他化學(xué)物質(zhì)具有良好的耐腐蝕性。它不會(huì)受到酸堿腐蝕的影響,在惡劣環(huán)境下仍能保持良好的性能。


  綜上所述,就是高純氧化鋁半導(dǎo)體陶瓷的特性了,高純氧化鋁半導(dǎo)體陶瓷作為一種優(yōu)秀的陶瓷材料,具有高純度、高溫穩(wěn)定性、良好的絕緣性、超硬性和耐腐蝕性等特點(diǎn)。

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